مالیکیولر بیم ایپیٹیکسی ایک اعلی ویکیوم یا الٹرا ہائی ویکیوم (1 x 10 میں کی گئی تھی^-8PA) ماحولیات۔ مالیکیولر بیم ایپیٹیکسی کا سب سے اہم پہلو اس کی کم جمع کی شرح ہے ، جو عام طور پر فلم کو 3000 ینیم سے کم فی گھنٹہ کی شرح سے ایپیٹیکسیل بڑھنے کی اجازت دیتا ہے۔ اتنی کم جمع کی شرح کے لئے صفائی کی اسی سطح کو حاصل کرنے کے لئے ایک اعلی ویکیوم کی ضرورت ہوتی ہے جیسا کہ دوسرے جمع کرنے کے طریقوں کی طرح ہے۔

مذکورہ بالا الٹرا ہائی ویکیوم کو پورا کرنے کے لئے ، ایم بی ای ڈیوائس （نوڈسن سیل） میں کولنگ پرت ہے ، اور مائع نائٹروجن گردش کے نظام کا استعمال کرتے ہوئے نمو کے چیمبر کے انتہائی اعلی ویکیوم ماحول کو برقرار رکھنا چاہئے۔ مائع نائٹروجن آلہ کے اندرونی درجہ حرارت کو 77 کیلون (−196 ° C) پر ٹھنڈا کرتا ہے۔ کم درجہ حرارت کا ماحول خلا میں نجاست کے مواد کو مزید کم کرسکتا ہے اور پتلی فلموں کے جمع کرنے کے لئے بہتر شرائط مہیا کرسکتا ہے۔ لہذا ، ایم بی ای آلات کے لئے -196 ° C مائع نائٹروجن کی مستقل اور مستحکم فراہمی فراہم کرنے کے لئے ایک سرشار مائع نائٹروجن کولنگ سرکولیشن سسٹم کی ضرورت ہے۔